為了進一步提高對長三角電子制造企業(yè)的技術服務能力，由華東實驗室建設的掃描電鏡實驗室目前正式完成安裝,、調試工作,，標志著華東實驗室理化分析部掃描電鏡實驗室正式建立。

      作為材料檢測和電子產品重要的失效分析檢測手段,，該掃描電鏡主要用于觀察材料表面的微細形貌,、斷口及內部組織，利用平臺搭載的能譜系統(tǒng)可以對材料表面微區(qū)成分進行定性和定量分析,。

      主要用途如下：

      1,、電子元器件、電路板（PCB）,、陶瓷,、金屬、混凝土,、礦物,、生物、纖維和高分子等無機或有機固體材料的微觀形貌觀察,；

      2,、微型加工的表征和分析集成電路圖形及斷面尺寸，PN結位置,，結區(qū)缺陷等,；

      3,、對固體材料的表面鍍層進行分析和鍍層厚度的檢測；

      4,、結合X射線能譜儀進行材料表面微區(qū)成分的定性和定量分析,，對材料表面物質進行面、線,、點分析,。

      主要技術指標

      設備名稱：SEM&EDS
      型號：Inspect F50&Apollo xp
      高電壓下：≤1.0nm@30kV(SE)或≤1.5nm@15kV(SE),；
      低電壓下：≤3.0nm@1kV(SE),。
      背散射電子像：≤2.5nm@30KV（BSE）。
      電子槍：Schottky型熱場發(fā)射電子槍,。
      加速電壓： 0.2~30kV,。
      放大倍數： 20倍~50萬倍。
      X射線能譜儀的元素分析范圍：Be4～U92?Be4～U92
      能量分辨率(Mn-Ka)：優(yōu)于129eV

（分析中心）