2025年5月8日，工業(yè)和信息化部電子第五研究所牽頭主持的國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“智能傳感器”重點(diǎn)專項(xiàng)“MEMS力聲敏感元件可靠性基礎(chǔ)技術(shù)研究”項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)暨實(shí)施方案論證會(huì)在電子五所廣州增城總部順利召開(kāi)。項(xiàng)目專家組9位專家現(xiàn)場(chǎng)出席會(huì)議，工業(yè)和信息化部高新技術(shù)司領(lǐng)導(dǎo)，電子五所副所長(zhǎng)胡湘洪、有關(guān)部門負(fù)責(zé)人，項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、各課題負(fù)責(zé)人與項(xiàng)目組骨干等40余人參加了此次會(huì)議。

本項(xiàng)目匯聚了工業(yè)和信息化部電子第五研究所、東南大學(xué)、天津大學(xué)、中科院空天信息創(chuàng)新研究院、雁棲湖基礎(chǔ)制造技術(shù)研究院（北京）有限公司等五家高校、研究所和重點(diǎn)企業(yè)的優(yōu)秀研究人員，我所重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室林曉玲研究員任項(xiàng)目負(fù)責(zé)人。隨著我國(guó)新興產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)高性能和高可靠的傳感器有著巨大的需求。MEMS力聲敏感元件作為智能傳感器的主流核心部件，其可靠性直接關(guān)系到高端裝備制造、航空航天等國(guó)家重大工程領(lǐng)域的應(yīng)用安全。當(dāng)前，我國(guó)在MEMS傳感器領(lǐng)域已取得顯著進(jìn)展，其功能性能指標(biāo)上可滿足使用要求，但隨著上述領(lǐng)域?qū)Ξa(chǎn)品10～30年的長(zhǎng)壽命應(yīng)用需求增長(zhǎng)，MEMS傳感器長(zhǎng)期服役失效問(wèn)題日益凸顯，由于結(jié)構(gòu)疲勞導(dǎo)致失效的本質(zhì)機(jī)理尚不明確、評(píng)估模型和加速試驗(yàn)方法等可靠性基礎(chǔ)問(wèn)題未能得到有效解決。本項(xiàng)目的啟動(dòng)，正是瞄準(zhǔn)這些關(guān)鍵科學(xué)問(wèn)題，著力突破MEMS力聲敏感元件機(jī)理建模、測(cè)試評(píng)價(jià)、觀測(cè)方法等基礎(chǔ)技術(shù)，對(duì)提升我國(guó)高端傳感器自主創(chuàng)新能力、促進(jìn)國(guó)產(chǎn)MEMS傳感器在重大裝備型號(hào)中的高可靠應(yīng)用、保障重點(diǎn)領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)鏈安全具有重大戰(zhàn)略意義。

此次會(huì)議圓滿落幕之后，各承研單位之間將更加緊密地合作，實(shí)現(xiàn)優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，協(xié)調(diào)共進(jìn)，力求高質(zhì)量完成項(xiàng)目各項(xiàng)研究任務(wù)。