近日，國家市場監(jiān)督管理總局（國家標準化管理委員會）發(fā)布2024年24號中華人民共和國國家標準公告，由工業(yè)和信息化部電子第五研究所牽頭,，蘇州市質(zhì)量和標準化院 ,、中機生產(chǎn)力促進中心有限公司等15家單位共同編制的國家標準《微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 薄膜材料的彎曲試驗方法》于10月26日發(fā)布并實施。

MEMS技術(shù)迅猛發(fā)展,，MEMS產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于消費電子,、汽車、工業(yè),、航空航天等領(lǐng)域,。MEMS器件含有可動微機械結(jié)構(gòu)，薄膜作為其主要結(jié)構(gòu)材料,，其特性直接關(guān)系MEMS器件的質(zhì)量可靠性,。該標準規(guī)定了長度和寬度小于1mm、厚度在0.1μm和10μm之間的薄膜材料的彎曲試驗方法,。該標準的發(fā)布可面向MEMS器件的結(jié)構(gòu)加工,、產(chǎn)品研制、產(chǎn)品應(yīng)用,、第三方檢驗等單位開展應(yīng)用,，對MEMS器件產(chǎn)品的推廣應(yīng)用具有重要作用。