近期收到國(guó)家科技部最新通知,，由工業(yè)信和息化部電子第五研究所電子元器件可靠性物理及其應(yīng)用技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（以下簡(jiǎn)稱電子五所重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室）牽頭申報(bào)的國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“國(guó)家質(zhì)量基礎(chǔ)設(shè)施體系”（NQI）重點(diǎn)專項(xiàng)“硅通孔三維集成質(zhì)量與可靠性評(píng)價(jià)關(guān)鍵技術(shù)研究”獲批立項(xiàng)。該項(xiàng)目由電子五所主持承擔(dān),，并與中國(guó)科學(xué)院微電子研究所、西安電子科技大學(xué),、北京郵電大學(xué),、中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院等6所科研院所及高校合作申報(bào)。項(xiàng)目總預(yù)算1161.00萬(wàn)元,，全部由中央財(cái)政專項(xiàng)資金撥付,。這是電子五所“十四五”期間牽頭的首個(gè)NQI重點(diǎn)專項(xiàng)，標(biāo)志著本所的科研實(shí)力,、創(chuàng)新成果和行業(yè)地位再獲國(guó)家層面認(rèn)可,。

NQI專項(xiàng)是在中央財(cái)政科技計(jì)劃（專項(xiàng)、基金等）管理改革的大背景下,，由科技部,、國(guó)家質(zhì)檢總局等13個(gè)相關(guān)部門共同研究提出的,，按照全鏈條設(shè)計(jì),、一體化實(shí)施的思路，專項(xiàng)將圍繞計(jì)量,、標(biāo)準(zhǔn),、認(rèn)證認(rèn)可和檢驗(yàn)檢測(cè)四大國(guó)家質(zhì)量技術(shù)基礎(chǔ)，開展一體化設(shè)計(jì)和系統(tǒng)性攻關(guān),，是我國(guó)國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的重要標(biāo)志之一,。

項(xiàng)目聚焦我國(guó)當(dāng)前TSV三維集成技術(shù)面臨的缺陷檢測(cè)技術(shù)能力不足、失效機(jī)理不清,、評(píng)價(jià)方法標(biāo)準(zhǔn)缺失等關(guān)鍵共性問(wèn)題,，系統(tǒng)地開展TSV三維集成缺陷檢測(cè)、電磁輻照效應(yīng)檢測(cè),、關(guān)鍵結(jié)構(gòu)失效機(jī)理等研究工作,，將在三維集成器件可靠性共性技術(shù)方面產(chǎn)出一系列具有創(chuàng)新性和應(yīng)用價(jià)值的科研成果，構(gòu)建具有自主核心技術(shù)的檢測(cè)和評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)體系,，成果將為推動(dòng)我國(guó)三維封裝測(cè)封技術(shù)的革新,，促進(jìn)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)健康、可持續(xù)及良性發(fā)展提供重要支撐,。