近期我所計(jì)量檢測(cè)中心在項(xiàng)目攻關(guān),、標(biāo)準(zhǔn)編制等領(lǐng)域取得多項(xiàng)成果,，技術(shù)優(yōu)勢(shì)和行業(yè)影響力不斷提升。

在芯片電磁兼容性測(cè)試領(lǐng)域取得科研成果

近期,，賽寶計(jì)量檢測(cè)中心組織專家團(tuán)隊(duì)對(duì)芯片電磁兼容性測(cè)試系統(tǒng)（IC EMC）的校準(zhǔn)技術(shù)開展研究攻關(guān)并取得初步成果,。針對(duì)測(cè)試系統(tǒng)中包含的射頻參數(shù)、瞬態(tài)時(shí)域參數(shù)分別研究校準(zhǔn)方法及校準(zhǔn)裝置,。主要研究成果包括電阻式脈沖分壓系統(tǒng),、瞬態(tài)脈沖參數(shù)的偏微分計(jì)算,、近場(chǎng)耦合天線組等。

芯片的電磁兼容測(cè)試是當(dāng)前國(guó)際的前沿研究?jī)?nèi)容,，各國(guó)科研機(jī)構(gòu)及國(guó)際組織都在對(duì)此進(jìn)行深入研究,。國(guó)際電工委員會(huì)也組織制定了一些標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)試和測(cè)量方法來評(píng)估電磁兼容特性，例如IEC 61967,、IEC62132,、IEC62215等系列標(biāo)準(zhǔn)。但是目前芯片電磁兼容測(cè)試系統(tǒng)的校準(zhǔn)研究仍處于起步階段,，針對(duì)測(cè)試設(shè)備的校準(zhǔn)仍然依賴?yán)碚撚?jì)算與仿真實(shí)驗(yàn),，尚未形成完整的量值傳遞與溯源體系，缺乏對(duì)測(cè)試設(shè)備參數(shù)的準(zhǔn)確性的評(píng)估,。

經(jīng)過實(shí)驗(yàn)及計(jì)算分析,，計(jì)量檢測(cè)中心研制的校準(zhǔn)裝置滿足芯片電磁兼容性測(cè)試系統(tǒng)的計(jì)量需求，初步建立芯片電磁兼容性測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)能力,。本研究項(xiàng)目對(duì)芯片電磁兼容性測(cè)試系統(tǒng)的完善具有開創(chuàng)性意義,，完善了芯片測(cè)試的相關(guān)需求研究結(jié)果將填補(bǔ)相關(guān)領(lǐng)域空白。

楊霖博士受邀參加國(guó)際研討會(huì)并作技術(shù)報(bào)告

計(jì)量檢測(cè)中心楊霖博士代表我所集成電路計(jì)量項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)參加2022國(guó)際先進(jìn)光刻技術(shù)研討會(huì)（IWAPS）并作技術(shù)報(bào)告,。IWAPS是由中國(guó)集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟,、中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)、中國(guó)電子學(xué)會(huì)主辦的國(guó)際高端光刻技術(shù)研討會(huì),，每年組織國(guó)內(nèi)外光刻技術(shù)領(lǐng)域資深專家,，圍繞材料、設(shè)備,、工藝,、測(cè)量,、計(jì)算光刻和設(shè)計(jì)優(yōu)化等主題開展討論,，分享最新研究成果，探討圖形化解決方案,。

楊霖的報(bào)告反映了可溯源的衍射型套刻精度（DBO）計(jì)量技術(shù)的研究成果,，主要針對(duì)集成電路光刻工藝的關(guān)鍵參數(shù)“套刻精度”的精準(zhǔn)測(cè)量控制需求進(jìn)行研發(fā)。研究項(xiàng)目通過設(shè)計(jì)基于單層雙線光柵結(jié)構(gòu)的專用高靈敏度標(biāo)準(zhǔn)芯片,，研制可溯源的高精度專用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)儀器,，實(shí)現(xiàn)了光刻工藝DBO參數(shù)的可溯源計(jì)量。

據(jù)悉,，目前僅美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院（NIST）開發(fā)了針對(duì)圖像型套刻精度（IBO）的可溯源計(jì)量技術(shù),，而國(guó)際上針對(duì)工業(yè)界更為先進(jìn)的DBO計(jì)量技術(shù)則尚處于空白。楊霖博士團(tuán)隊(duì)研究成果可為解決光刻工藝中DBO量測(cè)機(jī)臺(tái)的量值統(tǒng)一和匹配問題提供關(guān)鍵技術(shù)手段,，有望填補(bǔ)相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)空白,。

2項(xiàng)環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備檢驗(yàn)方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)順利通過審查

計(jì)量檢測(cè)中心承擔(dān)起草的《環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備檢驗(yàn)方法 第14部分：振動(dòng)（正弦）試驗(yàn)用電動(dòng)式振動(dòng)系統(tǒng)》和《環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備檢驗(yàn)方法 第21部分：振動(dòng)（隨機(jī)）試驗(yàn)用液壓式振動(dòng)系統(tǒng)》2項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)順利通過審查,。以上2項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范了振動(dòng)系統(tǒng)的檢驗(yàn)方法，完善了環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備的檢驗(yàn)體系,，推動(dòng)了測(cè)量不確定度在該領(lǐng)域的進(jìn)一步實(shí)施,。

近年來，我所積極參與國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化工作,，主持起草了大量國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),，行業(yè)影響力不斷提升，為推動(dòng)我國(guó)工業(yè)領(lǐng)域的高質(zhì)量發(fā)展貢獻(xiàn)賽寶方案,。